Niederdruckplasma
Für das vollflächige Bearbeiten strukturierte Bauteile und Hohlräume oder Schüttgut.
- Kalter Prozess
- Prozessgas/-mischungen nach Wahl
- Geeignet für Elektronik
- Partikelfreie Anwendung
- Langzeitstabile Effekte
- Taktzeiten je nach Kammervolumen und Pumpe
- Kammervolumen und Pumpenvarianten auf Anfrage
- Typische Taktzeiten 20s bis 2 min
- Typische Arbeitsdrücke 0,4 – 1,0 mbar
